1.转塔多工位结构,取贴、拍照补偿同时进行2.多工序并行,Z/R轴直连,高效率和高精度;3.根据定制化工艺特点,可选配多种辅助功能;4.可搭配不同点胶控制器,满足多种工艺需求;5.具备AI精度自动补偿和压力修正;6.运动系统均采用马达直连,确保高精度;7.具备高精度闭环压力控制系统;8.采用大理石台面,具有更高稳定性。
1.转塔多工位结构,取贴、拍照补偿同时进行2.多工序并行,Z/R轴直连,高效率和高精度;3.根据定制化工艺特点,可选配多种辅助功能;4.可搭配不同点胶控制器,满足多种工艺需求;5.具备AI精度自动补偿和压力修正;6.运动系统均采用马达直连,确保高精度;7.具备高精度闭环压力控制系统;8.采用大理石台面,具有更高稳定性。
序号模块项目参数1系统性能机型分类湛卢龙泉鱼肠贴合X/Y精度、角度误差3σ=±15um、≤1°3σ=±7um、≤0.3°3σ=±3um、≤0.1°160ms(23K/H)500ms(7K/H)1.2K/H(3S)生产周期2物料工作台贴装区域100×300(mm)上下料模式弹夹/叠料/IN LINE 弹夹/IN LINE3晶圆工作台晶片尺寸3*5 mil ~ 20*20 mil晶圆尺寸及厚度6”/8”/12” 100um-1mm4取、贴晶片取、贴方式转塔式多工位,循环贴取贴片压力30g-200g5体积设备尺寸(mm)L2900* W1600 * H1600(不含显示器三色灯)